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Konfokale Sensoren zur hochpräzisen Messung von Abstand, Rauheit und Dicke | confocalDT IFS2407

Abstandssensor

“ Ideal für Abstands- und Rauheitsmessungen Ideal zur Dickenmessung von dünnen Schichten Ideal für Messungen auf gekrümmten und spiegelnden Flächen ”
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Die konfokal-chromatische Sensoren confocalDT IFS2407 sind konzipiert zur hochpräzisen Messung von Abstand und Rauheit und Dicke. Die Sensoren bieten eine hohe Numerische Apertur, kleine Lichtfleckdurchmesser und hohe Messwinkel, wodurch die Sensoren auch zur Rauheitsmessung eingesetzt werden können. Darüber hinaus überzeugen die Sensoren durch Nanometergenauigkeit.

Messbereich (mm): 0,1 | 0,3 | 0,8 | 1,5 | 2 | 3 | 4 | 6 Linearität: max. 0,05 µm Auflösung: max. 3 nm Ideal für Abstands- und Rauheitsmessungen Lichtstärkere Ausführung für schnelle Prozesse erhältlich (NA 0,7) Kleiner Messfleck 3 µm Hohe Empfindlichkeit und großer Messwinkel Dickenmessung von transparenten Objekten ab 5 µm 90° Varianten Stabile Messung auf strukturierter Oberfläche

Halbleiter Elektronikfertigung Automatisierung

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