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Konfokale Hybridsensoren zur Messung von Weg, Abstand und Position | confocalDT IFS2403

Abstandssensor

“ Sensor in Hybridbauweise Auflösung: max. 16 nm Erhöhter Grundabstand ”
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Die Vorteile zweier erfolgreicher konfokaler Bauformkonzepte kombiniert der konfokal-chromatisch messende Sensor confocalDT IFS2403. Dieser Sensor ist mit 8 mm Außendurchmesser ähnlich schlank wie die Miniatursensoren der Serie IFS2402, kann aber aufgrund seiner größeren numerischen Apertur deutlich mehr reflektiertes Licht aufnehmen als das kleinere Modell mit nur 4 mm Durchmesser. Auch diese Sensoren verfügen über Modelle mit radialem und axialem Strahlengang.

Messbereiche (mm): 0,4 | 1,5 | 4 | 10 Linearität: max. 0,3 µm Auflösung: max. 16 nm Sensor in Hybridbauweise Gehäuse aus Stahl Erhöhter Grundabstand Axiale und radiale Messrichtung

Automatisierung Halbleiterindustrie Maschinenbau

UNTER DEN PRODUKTEN ABSTANDSSENSOR VON MICRO-EPSILON France

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Konfokale Hochtemperatur-Sensoren | confocalDT IFS2407

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Konfokale Kompaktsensoren für präzise Abstands- und Dickenmessung | confocalDT IFS2404

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Konfokale Sensoren für Messungen mit speziellen Anforderungen | confocalDT IFS2406

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Konfokales Messsystem für industrielle Serienanwendungen | confocalDT IFD2411

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