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Konfokale Hochtemperatur-Sensoren | confocalDT IFS2407

Abstandssensor

“ Hochtemperatursensoren für den Einsatz bis 200° C Vakuumtauglich bis UHV Ideal für Präzisionsmaschinenbau und Halbleiterindustrie ”
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Die neuen konfokal-chromatischen Hochtemperatur-Sensoren setzen Maßstäbe für Messungen in anspruchsvollen Umgebungen. Erstmals im Micro-Epsilon-Portfolio stehen optische Sensoren zur Verfügung, die Temperaturen um bis zu 200 °C standhalten – und das bei höchster Messgenauigkeit. Dank ihrer kompakten Bauform eignen sich die Sensoren ideal für Anwendungen mit sehr begrenztem Einbauraum. Die innovativen HT-Modelle sind in verschiedenen Messbereichen sowie mit 90°-Strahlengang erhältlich und passen sich flexibel an unterschiedliche Einbausituationen an. Dank minimaler Ausgasung sind die Sensoren für den Einsatz bis zum Ultrahochvakuum (UHV) geeignet – perfekt für Messaufgaben im Präzisionsmaschinenbau und in der Halbleiterindustrie.

Messbereich (mm): 0,8 | 2 | 4 Linearität: max. < ±0,18 µm Auflösung: max. < 6 nm Geringes Ausgasungsverhalten: Ideal für UHV- und Reinraumanwendungen Einsatz in extremen Umgebungsbedingungen: Zuverlässige Messung bei Temperaturen bis zu 200 °C Gehäuse aus Edelstahl 1.4404 Modelle mit 90°-Strahlengang
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Präzisionsmaschinenbau Halbleiterindustrie

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