Konfokale Sensoren für Messungen mit speziellen Anforderungen | confocalDT IFS2406

“ Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet Auflösung: max. 18 nm Vakuumtaugliche Sensorkonstruktion ”

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Konfokale Sensoren der Serie confocalDT IFS2406 zeichnen sich durch eine hohe Genauigkeit bei kompakter Bauform aus. Neben der Abstandsmessung gegen spiegelnde oder transparente Oberflächen ist der Sensor für die einseitige Dickenmessung von transparenten Folien, Platten oder Schichten einsetzbar. Die IFS2406-2,5 Modelle sind darüber hinaus für den Einsatz im Vakuum geeignet und durch die axiale und radiale Messrichtung besonders vielseitig in der Anwendung.

Technische Merkmale

Messbereiche (mm): 2,5 | 3 | 10 Linearität: max. 0,75 µm Auflösung: max. 18 nm Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet Kleiner Lichtfleck Vakuumtaugliche Sensorkonstruktion

Anwendungsbereiche

Automatisierung Halbleiter Kunststoffindustrie

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