Weißlicht-Interferometer zur stabilen Dickenmessung | interferoMETER 5200-TH

“ Hochpräzise Dickenmessungen von dünnsten Schichten Materialstärke ab 1 µm Sub-Nanometer Auflösung ”

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Präsentation

Das neue Weißlichtinterferometer IMS5200-TH eröffnet neue Perspektiven für eine schnelle und stabile Dickenmessung. Der Controller verfügt über eine intelligente Auswertung und ermöglicht die präzise Dickenmessung von transparenten Schichten bereits ab 1 µm Materialstärke. Dank der hohen Messrate von bis zu 24 kHz sind die IMS5200 Modelle bestens für den industriellen Einsatz geeignet. Nanometergenauigkeit für mikrometer-dünne Schichten.

Ideal für industrielle Umgebungen

Der robuste Sensor und der Controller im Metallgehäuse prädestinieren das System zur Integration in Fertigungslinien. Durch den kompakten Sensoraufbau und dem großen Arbeitsbereich ist der Sensor leicht zu integrieren und liefert auch bei Vibration stabile Messergebnisse. Der Controller kann per Hutschienenmontage im Schaltschrank verbaut werden. Kabellängen bis zu 10 m ermöglichen eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.

Technische Merkmale

Messrate bis 24 kHz für schnelle stabile Messungen Einfache Integration dank großem Arbeitsbereich Präzise Schichtdickenmessung: 1 µm bis 100 µm Multi-Peak: Mehrschichtmessung von bis zu 5 Schichten möglich Industrieoptimierter Sensor mit robustem Metallgehäuse Einsatz im Vakuum möglich Einfache Konfiguration über Webinterface

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Anwendungsbereiche

Glasindustrie Halbleiter & Elektronikfertigung Beschichtungsindustrie

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