Weißlicht-Interferometer zur hochpräzisen Inline-Waferdickenmessung | interferoMETER IMS5420-TH

Das IMS5420 ist ein High-Performance Weißlicht-Interferometer zur berührungslosen Dickenmessung von monokristallinen Siliziumwafern. Der Controller verfügt über eine breitbandige Superlumineszenzdiode (SLED) mit einem Wellenlängenbereich von 1.100 nm. Diese ermöglicht die Dickenmessung von undotierten, dotierten und hochdotierten SI-Wafer mit nur einem Messsystem und einer Signalstabilität von unter 1 nm. Je nach Einsatzgebiet stehen Sensoren mit großem Grundabstand und Sensoren mit Freiblasvorrichtung zur Verfügung.

Präzise Waferdickenmessung

Aufgrund der optischen Transparenz, die Siliziumwafer im Wellenlängenbereich von 1.100 nm vorweisen, können die IMS5420 Interferometer die Dicke präzise erfassen. In diesem Wellenlängenbereich weisen sowohl undotiertes Silizium als auch dotierte Wafer eine ausreichende Transparenz auf. Dadurch können Waferdicken bis zu 1,05 mm erfasst werden. Die messbare Dicke des Luftspalts beträgt sogar bis zu 4 mm.