Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung | interferoMETER IMS5600-DS

Das neue Weißlichtinterferometer IMS5600-DS wird zur Abstandsmessung mit höchster Präzision eingesetzt. Der Controller verfügt über eine Spezialabstimmung mit intelligenter Auswertung und ermöglicht absolute Messungen mit Subnanometer-Auflösung. Eingesetzt wird das Interferometer für Messaufgaben mit höchsten Genauigkeitsanforderungen, z.B. in der Elektronik- und Halbleiterfertigung.

Absolute Abstandsmessung bei großem Messbereich und Grundabstand

Das IMS5600-DS wird zur hochpräzisen Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Die System liefert absolute Messwerte und kann daher auch zur Abstandsmessung von Stufenprofilen eingesetzt werden. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten von Stufen mit hoher Signalstabilität. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden. Das Messsystem bietet eine Sub-Nanometer-Auflösung bei gleichzeitig großem Grundabstand in Relation zum Messbereich.

Multipeak-Abstandsmessung

Bei der Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekten werden bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig ausgewertet. Damit kann beispielsweise der Abstand zwischen Glas und einer Trägerplatte ermittelt werden. Darüber kann der Controller die Glasdicke aus den Abstandswerten berechnen.

Konzipiert für hochauflösende Abstandsmessungen im Vakuum

Interferometer der Serie IMS5600-DS sind für Messaufgaben in vakuumierten Umgebungen und in Reinräumen einsetzbar. Dort erzielen die Interferometer eine Auflösung im Subnanometerbereich. Für Messaufgaben im Vakuum bietet Micro-Epsilon geeignete Sensoren, Kabel und Durchführungen an. Diese Sensoren und Kabel sind hochgradig partikelfrei und können vom Reinraum bis zum UHV eingesetzt werden. 

Stabile Abstandsmessungen mit höchster Präzision

Der Controller lässt sich per Hutschienenmontage im Schaltschrank verbauen und liefert dank aktiver Temperaturkompensation und passiver Kühlung sehr stabile Messergebnisse. Die kompakten Sensoren sind äußerst platzsparend und verfügen über hochflexible Lichtleiter-Kabel. Kabellängen bis zu 10 m ermöglichen eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Der Sensor lässt sich dank integriertem Pilotlaser einfach und schnell ausrichten. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.

Messung auf zahlreiche Oberflächen

Das interferometrische Messverfahren ermöglicht die Messung auf zahlreichen Oberflächen. Damit können hochpräzise Abstandsmessungen auf spiegelnden Metallen, Kunststoffen und Gläsern erfolgen.

NEU: Sensoren auch mit 90° Strahlengang

Dank der kompakten Bauform können die Sensoren auch in beengten Bauräumen integriert werden. Bei den Modellen mit 90° Strahlenausgang wird die erforderliche Bauraumtiefe nochmals deutlich reduziert.