IMPAC Pyrometer IS 12-Si

Pyrometer

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Präsentation

Digitales High-End-Pyrometer zur berührungslosen Temperaturmessung von Siliziumwafern ab 350 °C.

Das IS 12-Si ist eine Spezialversion des IS 12, entwickelt zur Messung der Temperatur von Siliziumwafern.

Das Pyrometer ist mit einem Schmalbandfilter im nahen Infrarot ausgestattet und damit in der Lage, das in dünnen Schichten zur Infrarotstrahlung ansonsten durchlässige Silizium zuverlässig bereits ab 350°C zu messen.

In diesem spektralen Bereich ist der Emissionsgrad von Silizium mit 67% nahezu unabhängig von der Temperatur und es lässt sich eine exakte Messung durchführen.

Physikalisch bedingt ist das IS 12-Si am Messbereichsanfang empfindlich gegen Fremdlicht, mit zunehmender Messtemperatur nimmt diese Empfindlichkeit ab.

Daher muss das Gerät bei Messaufgaben, die im Messbereichsanfang liegen, gegen Fremdlichteinfluss abgeschirmt werden.

Technische Merkmale

Zur Messung von Silizium-Wafern 4 Messbereiche von 350 bis 1800°C Spektralbereich: schmalbandig im nahen Infrarot, speziell zur Siliziummessung 6 Festoptiken und 3 Vario-Optiken Erfassungszeit 10 ms, einstellbar bis 10 s

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