Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung

Interferometer

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“ Industrieoptimierte Sensoren mit robustem Metallgehäuse und flexiblen Kabeln ”

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Präsentation

Industrieoptimiert und mit einer Genauigkeit, die ein neues Präzisionslevel in der optischen Abstandsmessung schafft – so präsentieren sich die neuen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon.

Mit einer Auflösung von < 30 Pikometer erreichen die Messwerte des innovativen interferoMETER von Micro-Epsilon ein neues Präzisionslevel in der optischen Messtechnik.

Das IMS5400-DS wird zur industriellen Abstandsmessung eingesetzt. Das Messsystem liefert absolute Messwerte und kann beispielsweise Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfassen. Die kompakten und robusten Sensoren erlauben die Integration in beengten Bauräumen.

Und das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.

Die interferoMETER bestehen aus einem Controller, einem Sensor und einem Lichtleiterkabel. Die Sensoren sind für industrielle Messaufgaben entwickelt worden. Daher sind sie mit robusten Metallgehäusen und hochflexiblen Kabeln ausgestattet.

Über zahlreiche analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und EtherCAT ist eine einfache Anbindung möglich. Die Konfiguration erfolgt über ein benutzerfreundliches Webinterface für Inbetriebnahme und Parametrierung.

Technische Merkmale

Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit Best-in-Class: Auflösung < 30 Pikometer (IMS5600-DS) Hohe Signalstabilität dank neuer Auswertealgorithmen und aktiver Temperaturkompensation Großer Grundabstand Einfache Parametrierung über Webinterface Vakuumtaugliche Sensoren und Kabel

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