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Unsere Vakuumkammer VC M800² besteht aus unserem neuen modularen Kammersystem. Das System besteht aus einzelnen, aus vollem Aluminium gefrästen Modulen mit einer Breite von 500mm. Somit kann die Länge der Kammer in 500mm Schritten variabel festgelegt werden.
Die Vorteile, die sich aus diesem System ergeben, sind enorm:
✓ Kostengünstig
✓ Geringes Gewicht
✓ Geringe Desorption des Aluminiums, daher auch für Hochvakuum geeignet
✓ Wunschfarbe ist durch eloxieren möglich
✓ Sehr gute Wärmeleitung
✓ Sehr saubere Prozesse möglich, z.B. im Halbleiterbereich
✓ Einfache Bearbeitung möglich
✓ Kein Schweißen nötig, Teile können einfach angebracht werden
Spezifikationen der Vakuumkammer
Innenmaße
Länge: 1000 mm (modular in 500 mm Schritten)
Breite: 800 mm
Höhe: 800 mm
Volumen
ca. 640 Liter
Anschlüsse
2 x KF 16
6 x KF 40
1 x ISO K 63
1 x ISO K 160
Zusätzliche Flansche in beliebiger Position möglich
Türe
Scharniertüre mit Schauglas
Diener electronic bietet nicht nur zukunftsweisende Lösungen für Vakuumkammern, sondern ebenso:
Niederdruck Plasmaanlagen zur Oberflächenbehandlung
Atmosphärendruck Plasmaanlagen zur Oberflächenbehandlung
Parylene-Beschichtungsanlagen
Vakuum-Komplettsysteme und Anlagen für verschiedenste Einsatzbereiche
Test-Tinten zur Bestimmung der Oberflächenspannung
Plasmaindikatoren zum Nachweis einer erfolgreichen Plasmabehandlung
Plasmageneratoren
Abmessungen (Innen): 800 mm x 800 mm x 1000 mm (BxHxT)Abmessungen (Außen): 1100 mm x 1100 mm x 1253 mm (BxHxT)Volumen: ca. 640 LiterAnschlüsse: 2 x KF 16, 6 x KF 40, 1 x ISO K 63, 1 x ISO K 160Verschluss: Scharniertüre mit Schauglas
UNTER DEN PRODUKTEN VAKKUUMSSYSTEME VON Diener electronic GmbH & Co. KG
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