Ultrapräzise motorische Lineartische

Die XM Lineartische sind die ideale Lösung für anspruchsvolle Fertigungs- und Prüf-/Messanwendungen. Sie erfüllen ultrapräzise Positionieraufgaben mit hoher Dynamik und Zuverlässigkeit und sind geeignet für rund um die Uhr betriebene Fertigungsumgebungen. Zu den typischen Anwendungen zählen die Inspektion von Halbleiter-Wafern, die Prüfung und Kalibrierung von Sensoren, Laserstrahlbearbeitung, Direkt-Lithografische Prozesse und Hochpräzisionsmontage.
Im Gegensatz zu spindelgetriebenen Positionierern verwenden die Lineartische der Serie XM einen mittig montierten, eisenlosen Linearmotor als Antrieb. Da der Linearmotor ein reibungsloser Direktantrieb ist, werden Umkehrspiel und Hysterese vermieden und die Positionierung weder durch Verwindungen noch durch Haftreibung im Antriebsstrang beeinträchtigt. Der Linearantrieb bietet außerdem den Vorteil höherer Geschwindigkeit, Beschleunigung und schnellerer Reaktionszeiten des Systems, ohne Abnutzung von Motorbürsten oder Verstellschrauben. Die besonders große, eisenlose Motorspule verhindert Varianzen in der Verschubkraft (cogging) und ermöglicht so eine ultrastabile Geschwindigkeitssteuerung mit höherer Effizienz im Vergleich zu anderen Direktantrieben. Dies führt zu wesentlich geringerer Wärmeentwicklung, dem Hauptproblem der meisten ultrapräzisen Verstellanwendungen. Um die Erwärmung und seine Auswirkung auf die Leistung des Verstelltischs weiter zu verbessern, bietet der XM außerdem den Vorteil einer hochentwickelten Entkopplung von Magnetspur und Messschlitten.
Die XM Lineartische sind aus spannungsfrei geglühtem Aluminium 7075 gefertigt, womit eine hervorragende, langfristige Robustheit und Stabilität erzielt wird. Alle kritischen Flächen werden in mehrfachen Fertigungsprozessen unter strengen Temperaturauflagen und Qualitätsprüfungen hergestellt und präzisionsgeschliffen, was ihre Gesamtleistung und Genauigkeit weiter verbessert. Der beim XM eingesetzte T-förmige Schlitten stellt eine optimale Lösung für hochpräzise XY-Baugruppen dar, ohne die Vorspannung der Tische zu beeinträchtigen. Außerdem bietet er eine robustere Bauweise und höhere Toleranz gegenüber Montageabweichungen als Verstelltische mit C-förmigen Schlitten.
Um eine möglichst geradlinige Bewegung sicherzustellen, sind die Lineartische XM mit paarwesie aufeinander abgestimmten, hoch-klassigen Kreuzrollenlagern mit Zwangsführung ausgestattet. Die Bauweise ohne umlaufende Kugelführungen ermögicht eine hervorragender Bewegung ohne Restwelligkeit, wie sie für anspruchsvolle Scan- und Inspektionssysteme benötigt wird. Außerdem schützt die Führung der Wälzlager vor Lagerkäfigbewegungen, wie sie bei anderen Linearführungen vorkommt.
Ein hochgenauer LIF 481 Heidenhain Linearmaßstab sorgt für präzise Positionsrückmeldung. Die Präzisionsausrichtung und Montage dieses Maßstabs mit geringer Wärmeausdehnung in der Mitte des Tisches reduziert die Auswirkung von Temperaturschwankungen auf seine Wiederholgenauigkeit und Präzision.