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UHV-STP-Pumpen : STP-L301C ISO100 Einlass EDWARDS SAS

UHV-STP-Pumpen : STP-L301C ISO100 Einlass

Vakuumpumpe

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Das Modell STP301(C) von Edwards ist für die Verwendung in Elektronenmikroskopen und Halbleiteranwendungen vorgesehen. Die erstklassige Leistung der Rotortechnologie von Edwards ermöglicht eine maximale Prozessflexibilität.
 
Das Modell STP-L301(C) wurde von führenden Geräteherstellern in den Bereichen Halbleiterfertigung und Herstellung von Magnetdatenträgern für den Einsatz zugelassen.

Endvakuum mit Ausheizelement (ICF-Flansch) : 10-8 Pa Maximal zulässiger Einlassdruck bei Kühlung durch Umgebungsluft : 6,7 x 10-2 Pa Nenndrehzahl : 48.000 U/min Anlaufzeit : 3 min Maximaltemperatur Einlassflansch : 120 °C Eingangsspannung : 100 bis 120 V (± 10) V AC oder Leistungsaufnahme beim Einschalten : 0,55 kVA Pumpengewicht : 13 kg Controllergewicht : 7 kg

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