Turbomolekularpumpen EXT75DX DN63ISO-K

Vakuumpumpe

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Präsentation

Bei der EXT75DX handelt es sich um eine Compound-Turbopumpe mit Hybridlagerung, die die bewährte Technologie eines mechanischen unteren Keramiklagers, eines trockenen oberen Permanentmagnetlagers und einer Holweck-Drag-Stufe mit dem zusätzlichen Komfort eines integrierten 24 V-Controllers vereint.

Dieser ermöglicht parallele und serielle Datenübertragung, die mit unseren TAG- und TIC-Controllern kompatibel ist. Sie ist mit einer DN40NW-, ISO63-, DN63CF- oder einer ISO100-Einlassflansch mit einer N₂-Saugleistung von bis zu 66 ls^-1 erhältlich.

Ein grundlegendes Pumpsystem umfasst eine EXT75DX-Pumpe, einen TAG- oder TIC-Controller, einen Luft- oder Wasserkühler sowie eine geeignete Vorvakuumpumpe.

Technische Merkmale

Empfohlene Vorvakuumpumpe : RV5/nXDS6i Wasserkühlung (Wasser mit 15 °C, 40 °C Umgebungstemp.) : 2 × 10-2 mbar uftkühlung, Umgebungstemp. 35 °C : 1 × 10-2 mbar Nenndrehzahl : 90000 U/min Standbydrehzahl : Variabel von 49500 bis 90000 U/min (63000 U/min Standard) Programmierbare Einstellungen der Leistungsgrenze : Variabel von 50 bis 120 W (80 W Standard) Analogausgänge : Drehzahl; Leistungsaufnahme; Pumpentemperatur; Controller-Temperatur Anlaufzeit auf 90 % Saugleistung : 110 s ‡ RV-Vorvakuumpumpe : <5 x 10-9/5 x 10-10 Membranvorvakuumpumpe : <5 x 10-8/5 x 10-9

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