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Turbomolekularpumpe : STPH451C ISO160K Einlass EDWARDS SAS

Turbomolekularpumpe : STPH451C ISO160K Einlass

Vakuumpumpe

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Die Hochleistungs-Turbomolekularpumpe der Baureihe STPH451C von Edwards ist für den Einsatz in Halbleiteranwendungen mit extremen Prozessbedingungen konzipiert.

Die praxiserprobte Zuverlässigkeit der Pumpe und ihre erstklassige Leistung sorgen für maximale Prozessflexibilität.

Die STPH451C wurde von führenden Geräteherstellern in den Bereichen Halbleiterfertigung und Herstellung von Magnetdatenträgern für den Einsatz zugelassen.

Einlassflansch : ISO160K Auslassanschluss : DN40KF Spülanschluss : DN10KF Rohrverschraubung der Wasserkühlung : PT1/4 Maximaler Stickstoffdurchsatz : 2500 sccm Nenndrehzahl : 48.000 U/min Anlaufzeit : 4 min Maximaltemperatur Einlassflansch : 120 °C Leistungsaufnahme : 0,6 kVA Controllergewicht : 9 kg

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