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Turbomolekularpumpe : STPA1603C ISO200F Einlass EDWARDS SAS

Turbomolekularpumpe : STPA1603C ISO200F Einlass

Vakuumpumpe

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Die kleine und leistungsfähige Turbomolekularpumpe STPA1603C von Edwards wurde mithilfe der modernen Rotortechnologie von Edwards entwickelt. Dadurch bietet sie den hohen Durchsatz, die maximale Zuverlässigkeit und die erstklassige Leistung, die von der neuesten Generation der Halbleiterprozesse gefordert werden.

Der Controller dieser Pumpe in halber Einbauhöhe und die kompakte Bauweise sorgen für erheblich weniger Platzbedarf, das fortschrittliche Beschichtungsreduzierungssystem hingegen bietet erhöhte Zuverlässigkeit und verbesserte Leistung.

Die Pumpe STPA1603C wurde anhand der neuesten 200 mm-Ätzwerkzeuge und der neuesten Generation der 300 mm-Oxidätzverfahren qualifiziert.

Einlassflansch : ISO200F Auslassanschluss : DN40KF Spülanschluss : DN16KF Rohrverschraubung der Wasserkühlung : PT1/4 Endvakuum mit Ausheizelement : 10-7 Pa Maximaler Stickstoffdurchsatz : 2500 sccm Nenndrehzahl : 36.500 U/min Anlaufzeit : 7 min Einbaulage : Jede Kühlwasserzufuhr : 2 l min-1

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