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Turbomolekularpumpe : STPA1303C ISO200F Einlass EDWARDS SAS

Turbomolekularpumpe : STPA1303C ISO200F Einlass

Vakuumpumpe

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Die Turbomolekularpumpe der Baureihe STPA1303C von Edwards ist für den Einsatz in Halbleiteranwendungen konzipiert.

Die erstklassige Leistung der hochentwickelten Rotortechnologie von Edwards ermöglicht eine maximale Prozessflexibilität.

Die STPA1303C wurde von führenden Geräteherstellern in den Bereichen Halbleiterfertigung und Herstellung von Magnetdatenträgern für den Einsatz zugelassen.

Einlassflansch : ISO200F Auslassanschluss : DN40KF Spülanschluss : DN10KF Rohrverschraubung der Wasserkühlung : PT1/4 Nenndrehzahl : 32500 U/min Anlaufzeit : 7 min Maximaltemperatur Einlassflansch : 120 °C Eingangsspannung : 200 bis 240 (± 10) V AC Leistungsaufnahme : 0,85 kVA Pumpengewicht : 39 kg

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