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Turbomolekularpumpe : STP-XA4503C EDWARDS SAS

Turbomolekularpumpe : STP-XA4503C

Vakuumpumpe

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Die magnetgelagerte Turbomolekularpumpe STP-XA4503C verfügt über ein großes Prozessfenster, ist sowohl im Hochvakuum- als auch im Niedrigvakuumbereich einsetzbar und zeichnet sich durch einen erhöhten Durchsatz für alle Gase aus. 

Die Pumpe basiert auf einer neuen Plattformbauweise, die Funktionen zur Verbesserung des Wärmemanagements bereitstellt.

Dies verbessert die Leistung bei hoher Beanspruchung, erhöht die Maximalkapazität der Prozessabläufe und reduziert die Auswirkungen von Korrosion und Ablagerung. 

Sie wurde für leichte und harte Einsatzbeanspruchungen entwickelt, wie sie beim Ätzen sowie bei Implantationen, Litographien und FDP-Prozessen gegeben sein können.

Endvakuum : 10-7 Pa/10-9 mbar Maximal zulässiger Vorvakuumdruck : 266 Pa/2,66 mbar Maximaler Gasdurchsatz N2 (nur wassergekühlt) : 2800 sccm Maximaler Gasdurchsatz Ar (nur wassergekühlt) : 2150 sccm Nenndrehzahl : 24.000 U/min Anlaufzeit auf 90 % Nenndrehzahl : 12 Minuten Empfohlener Spülgasdurchsatz N2 : 50 sccm/8,4 x 10-2 Pam3s-1 Eingangsspannung : 200 bis 240 ± 10 % V AC Maximale Eingangsleistung (ohne TMS) : 1,5 kVA

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