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Die iXL120 ist eine kompakte trockenlaufende Pumpe mit geringem Energieverbrauch und einer Saugleistung von 110 m3h-1, die für den Wafereinsatz sowie andere Reinigungsanwendungen geeignet ist. Sie ermöglicht das schnelle Abpumpen der Schleusensysteme unter äußerst geringem Energieverbrauch.
Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Schleusen- und Reinigungsanwendungen auf dem Markt.
Aufgrund ihrer niedrigen Vibrations- und Schalldruckpegel ist sie ideal für die Montage an der Prozessanlage oder am Kassettenboden der Fertigungsanlage geeignet, sodass wertvolle Bodenflächen eingespart werden können.
Der ökologische Modus reduziert den Anlagenbetrieb während der Pumpenstillstandszeiten und senkt somit die Betriebskosten, während gleichzeitig die Umwelt geschont wird!
Saugleistung (Spitze) : 110 m3h-1, 65 cfm, 1833 l min-1Endvakuum (typisch) : 0,013 mbar, 0,009 Torr, 1,3 PaLeistungsaufnahme unter Endvakuum : 0,55 kWLeistung im ökologischen Modus : 0,045 kWKühlwasseranschluss : OptionalWasserdurchfluss : 1 l min-1Gewicht : 59 kg
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