Toolmontierte Hochvakuumpumpen der Baureihe : EPX500NE 208 V, No TIM, 3/8"-Wasseranschluss

Die neue kompakte trockenlaufende Hochvakuumpumpe der Baureihe EPX500 bietet mehr Leistung bei geringeren Betriebskosten. Dank eines einzigartigen patentgeschützten Mechanismus ist die EPX500 in der Lage, von Atmosphärendruck auf Endvakua von <7 x 10^-5 Torr zu evakuieren.

Die Pumpen der EPX NE-Baureihe sind mit einer Endanwendersteuerung (End User Controller, EUC) ausgestattet. Mit dieser Endanwendersteuerung ist eine lokale Steuerung von eigenständigen Einheiten genauso möglich wie die ferngesteuerte Steuerung und Überwachung im Rahmen eines Netzwerks über die gesamte Fertigungsanlage.

Das EPX-Pumpsystem arbeitet bei Druckbedingungen von normalem Atmosphärendruck bis zum Endvakuum, und dies ohne Schmier- oder Sperrflüssigkeiten in der Pumpenkammer. So ist ein sauberes Pumpen ohne Öl- oder Flüssigkeitsrückfluss in das evakuierte System gewährleistet.

Der Stator der Pumpe und der gekapselte Pumpenmotor werden über einen integrierten Kühlwasserkreislauf gekühlt. Die EPX-Pumpe ist daher auch für Anwendungen in reinen Umgebung geeignet, in denen keine Kühlgebläse eingesetzt werden können.

Die Kühlwasserversorgungs- und -rücklaufleitungen sind mit der Pumpe über kundenspezifische Wasseranschlüsse verbunden. Das zugeführte Kühlwasser muss den jeweiligen Umweltbedingungen (Luftfeuchtigkeit und Temperatur) entsprechen, sodass der Taupunkt nicht erreicht wird.

Der Netzanschluss der Pumpe ist mit einem EMC-Filter und einem Wechselrichterantrieb ausgestattet, der den Pumpenmotor mit Strom versorgt. Der Status der EPX-Pumpe wird durch LEDs auf der Frontabdeckung angezeigt. Die Motordrehzahl hängt vom Druck am Vakuumanschluss ab.

Beim Starten der Pumpe mit einem Einlassdruck im Bereich des atmosphärischen Drucks beschleunigt der Motor auf eine Geschwindigkeit, die durch die maximal vom Wechselrichterantrieb erzeugte Leistung begrenzt wird.

Wenn der Druck am Vakuumanschluss abnimmt, steigt die Motordrehzahl so lange weiter an, bis die werkseitig eingestellte Maximaldrehzahl erreicht ist. Wenn der Druck am Vakuumanschluss wieder steigt, wird auch der Motor wieder langsamer.

Die Pumpen der EPX NE-Baureihe können manuell über die Anzeige und das Bedienfeld der Endanwendersteuerung (End User Control, EUC) lokal bedient oder, sofern installiert, über ein

Pumpenanzeigeterminal (Pump Display Terminal, PDT) ferngesteuert werden. Die Pumpen können auch über das Netzwerk überwacht und gesteuert werden, das über den Netzwerkanschluss mit der EPX-Pumpe verbunden ist.

Wenn die Pumpen der EPX LE-Baureihe über den Schnittstellenanschluss (Tool Interface Module, TIM) gesteuert werden, überwacht die EUC den Status der Pumpe.

Die EPX-Pumpe ist kompatibel mit Fabworks 32.

Die EPX-Pumpe ist auf vier Schwingungsabsorbern gelagert.

Bei Störungen wird die Pumpe automatisch durch Pumpenschutzsensoren abgeschaltet.