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Thermoreflexion System mittels gepulster Lichtheizung : NanoTR / PicoTR NETZSCH-GERÄTEBAU GMBH

Thermoreflexion System mittels gepulster Lichtheizung : NanoTR / PicoTR

Temperaturmessgeräte

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Die moderne Signalverarbeitungstechnologie der NanoTR erlaubt Hochgeschwindigkeitsmessungen. Mit dieser Thermoreflectance-Apparatur wird ein Laserpuls mit einer Pulsbreite von 1 ns periodisch (20 μs) auf die Probe aufgebracht.

Die resultierende Temperaturansprechzeit wird über den CW-Laser (Probe-Laser) ermittelt. Das ausgezeichnete Signal-Rausch-Verhältnis basiert auf der zeitgleichen Verarbeitung der vielen Einzelsignale (in-situ).

Mittels Software kann einfach zwischen den RF- und FF-Konfigurationen umgeschaltet werden und erlaubt somit eine große Probenvielfalt und Flexibilität.  Die NanoTR stimmt mit den japanischen Industriestandards JIS R 1689 und JIS R 1690 und SI überein und ist rückführbar mittels dem von AIST gelieferten „Thin Film Standard of Heat Diffusion Time“ (CRM 5808A).

Mit der PicoTR lassen sich Laserpulse (Pump-Laser) mit einer Pulsbreite von 0,5 ps mit einer Zeitperiode von 50 ns auf die Probe aufbringen. Die Temperaturansprechzeit wird ebenfalls mittels Probe-Laser detektiert.

PicoTR erlaubt dem Anwender ein einfaches Umschalten zwischen RT- und FF-Modus. PicoTR stimmt mit den japanischen Industriestandards JIS R 1689 und JIS R 1690 überein.

Sowohl das NanoTR- als auch das PicoTR-Gerät erlauben die absolute Messung der Temperaturleitfähigkeit an lichtundurchlässigen Proben und transparentem Substrat.

Für alle anderen Fälle wie lichtundurchlässiges Substrat und transparenter dünner Schicht sind Referenzmaterialien aus Molybdän (CRM 5808-a, für PicoTR) und TiN (RM 1301-a, für NanoTR) durch AIST erhältlich. Die NanoTR und PicoTR sind kalibriert, um die Rückführbarkeit auf japanische Standards zu sichern.

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