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Diese synthetischen Treibmittel auf Siloxanbasis zeichnen sich sowohl bei hoher Temperatur als auch bei Kontakt mit den meisten Gasen und Dämpfen durch eine besonders hohe chemische Stabilität aus. Sie bilden ein Sortiment allgemein einsetzbarer Treibmittel in Endvakua von etwa 10-5 bis 10-9 mbar und sind aufgrund ihrer außerordentlichen Robustheit besonders gut für industrielle Anwendungen geeignet.
Es können hohe Durchsätze von Luft, Wasserdampf und korrosiven Gasen ohne Zersetzung des Treibmittels gepumpt werden. Die Treibmittel können wiederholt bei Betriebstemperatur der Umgebungsluft ausgesetzt werden und werden deshalb häufig in ventillosen Vakuumsystemen mit kurzen Arbeitszyklen verwendet. Sie sind nur gering toxisch und besitzen eine gute Beständigkeit gegenüber Gammastrahlung.
Zersetzungsprodukte von Treibmitteln (z. B. aufgrund von Teilchenbeschuss) können elektrisch isolierend wirken. Daher sollten diese Treibmittel nicht in physikalischen/elektronischen Anwendung wie in der Massenspektrometrie und in Oberflächenanalysesystemen eingesetzt werden. Silikontreibmittel sind schlechte Schmiermittel. Spuren von Alkalimetallen (z. B. Cäsium) wirken bei der Zersetzung der Treibmittel als Katalysator und sollten deshalb in diesen Umgebungen möglichst vermieden werden.
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