Pyrometers : UV 400 und UVR 400

Pyrometer

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Präsentation

Echte Messung der Oberflächentemperatur und des Reflexionsvermögens von Wafern für GaN-basierte Epitaxie, 650 bis 1300 ° C.

Die Pyrometer UV 400 und UVR 400 von Advanced Energy messen direkt die Waferoberflächentemperatur anstelle der herkömmlichen Suszeptor- / Taschentemperatur.

Ein weiter Temperaturbereich (650 bis 1300 ° C) ermöglicht die Abdeckung sowohl des Hauptpufferwachstums als auch des MQW-Wachstums.
Abscheidungsdicke mit dem zusätzlichen Reflektometer bei 635 nm am UVR 400 messen.
Einstellbarer Emissionsgrad, Durchlässigkeit und Unterbereich.

Die Pyrometer UV 400 und UVR 400 von Advanced Energy messen direkt die Oberflächentemperatur des Wafers. Dieses verbesserte Verfahren ermöglicht eine genauere Steuerung der Wafertemperatur, was zu einer verbesserten Ausbeute führt.

Der UVR 400 enthält ein zusätzliches Reflektometer bei 635 nm mit einer Messgeschwindigkeit von 0,5 kHz. Auf diese Weise können Sie die Messung der Abscheidungsdicke aktivieren.

Diese Systeme setzen einen neuen Standard für LED-Produktionsprozesse. Die Ergebnisse zeigen eine zuverlässige Korrelation zwischen Prozesstemperatur und Endproduktwellenlänge.

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