Plasma-Oberflächen-Behandlungsanlage | Tetra 320R Diener electronic GmbH & Co. KG

Plasma-Oberflächen-Behandlungsanlage | Tetra 320R

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Präsentation

Plasmaanlagen von Diener electronic haben sich längst in den verschiedensten Industriebereichen durchgesetzt. Mit der Niederdruck Plasmaanlage Tetra 320R setzten Sie auf die moderne und zukunftssichere kalte Plasmatechnologie im Vakuum. Das Kammervolumen von ca. 320 Liter dieses Plasmasystems bietet genügend Raum um Serienfertigungen / Automation zu bedienen.

Die Plasmabehandlung im Niederdruck-Plasma ist eine bewährte Technik zur kontrollierten Feinstreinigung, Verbesserung der Adhäsion (Aktivierung und Ätzung) und Beschichtung dünner Schichten auf Substratoberflächen. Plasma wird durch den Einsatz hochfrequenter Spannung in der Vakuumkammer erzeugt. Dabei wird das dort eingeleitete Prozessgas ionisiert.

Anwendungsgebiete:
VOC-freie Reinigung von organischen Rückständen auf Silikon, Kunststoff, Kupfer, Nickel, …
Aktivierung vor dem Lackieren, Kleben, Vergießen, …
Ätzen von PTFE, Fotolack, Oxidschichten, …
Super-hydrophobe und -hydrophile Beschichtungen

Hauptmerkmale:
Standgehäuse
Vakuumkammern: Aluminium
Kammervolumen: ca. 320 Liter
Gaszufuhr: Mass Flow Controller (MFCs)
Generator Frequenzen: 80 kHz (0 - 3000 W)
Steuerungen: Full PC-Steuerung (Windows 10 IoT)
Druckmessung: Pirani, Kapazitätsmanometer

Die Tetra 320R Plasmasysteme kommen überwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik

Diener electronic bietet zukunftsweisende Lösungen in den Bereichen:
- Niederdruck Plasmaanlagen zur Oberflächenbehandlung
- Atmosphärendruck Plasmaanlagen zur Oberflächenbehandlung
- Parylene-Beschichtungsanlagen
- Aluminium Vakuumkammern aus einem einzigartig, flexiblem und patentiertem Kammersystem
- Vakuum-Komplettsysteme und Anlagen für verschiedenste Einsatzbereiche
- Test-Tinten zur Bestimmung der Oberflächenspannung
- Plasmaindikatoren zum Nachweis einer erfolgreichen Plasmabehandlung
- Plasmageneratoren

Technische Merkmale

Abmessungen (Standgerät): 870 mm x 1860 mm x 1400 mm (BxHxT) Vakuumkammer Material: Aluminium Vakuumkammer Abmessungen: ca. Ø 640 mm, T 1000 mm (BxHxT) Tmax. 3 m Vakuumkammer Volumen: Ca. 320 Liter Vakuumkammer Verschluss: Tür mit Scharnier, automatische Türe Gaszufuhr: Mass Flow Controller (MFCs) Generator: 80 kHz / 0 - 3000 W Druckmessung: Pirani, Kapazitätsmanometer Elektroden: nach Kundenwunsch Steuerung: Full PC (Win. 10 IoT)

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