Kapazitives Mehrkanalsystem für höchste Auflösung | capaNCDT 6500

“ Modular - bis zu acht Messkanäle Externer oder interner Vorverstärker Einfache Konfiguration über Webinterface ”

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Kapazitive Wegsensoren sind für Messaufgaben mit höchsten Auflösungen konzipiert. Das kapazitive Mehrkanalsystem capaNCDT 6500 eignet sich für stabile Messungen im Sub-Nanometerbereich. Der Controller bietet eine maximale Datenrate von 7,8 kHz (digital, bei bis zu vier Kanälen) bzw. 8,5 kHz Grenzfrequenz. Als Schnittstelle steht neben dem Analogausgang EtherCAT zur Verfügung. EtherCAT ermöglicht eine fehlerfreie Datenübertragung in Echtzeit, die schnelle Integration in die vorhandene Messumgebung und eine Synchronisation zweier Systeme. Die Konfiguration des capaNCDT 6500 erfolgt einfach über einen Web-Browser.

Höchste Auflösung

Das System capaNCDT 6500 ist für Messaufgaben konzipiert, die eine Sub-Nanometer-Auflösung erfordern. Insbesondere für Positionieraufgaben in der Halbleiterindustrie oder für Anwendungen im Labor zeigt das capaNCDT 6500 seine Stärken. Das System ist für mehrkanalige Anwendungen konzipiert und modular aufgebaut. Bis zu 8 Sensoren werden über einen Vorverstärkerbaustein an die Signalaufbereitungselektronik angeschlossen.

Flexibles Mehrkanalsystem

Das Messsystem besteht aus einem Controller mit integriertem Display sowie je einem Demodulator pro Sensor, welche in einem Rack zusammengefasst werden. Die beiden verfügbaren Controller-Racks bieten Platz für bis zu 2 bzw. bis zu 8 Demodulatoren. Zur Auswahl steht ein leistungsstarker Demodulator welcher je nach Anwendung mit integriertem oder abgesetzten Vorverstärker betrieben wird. Beide Ausführungen sind mit allen Sensormodellen von Micro-Epsilon kompatibel.

Einfache Bedienung über Webinterface

Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen, worüber alle Einstellungen vorgenommen werden. Damit können Filter, arithmetische Verknüpfungen und weitere Parameter wie Triggerfunktionen, Messwertspeicherung und Linearisierung einfach angewendet werden.

Technische Merkmale

Messbereiche (mm): 0,05 | 0,2 | 0,5 | 0,8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10 Auflösung max. 0,0375 nm Linearität max. 0,01 µm Grenzfrequenz 8,5kHz (-3 dB) Datenrate (Digitalausgang) 7,8 kHz Analogausgang (Spannung / Strom) Ethernet, EtherCAT Modular - bis zu acht Messkanäle Externer oder interner Vorverstärker Einfache Konfiguration über Webinterface