Plus de précision. interferoMETER // Interféromètre absolu de haute précision Interféromètres absolus de haute précision interferoMETER Les interféromètres innovants à mesure absolue de Micro-Epsilon Il en résulte des avantages pour la mesure : créent une nouvelle référence en matière de mesure de distance et ƒ Mesures absolues ultraprécises, même pour d’épaisseur de haute précision. Les capteurs permettent d’obtenir les objets de mesure en mouvement des résultats de mesure stables avec une résolution inférieure au nanomètre en offrant une plage de mesure et un écartement de base ƒ Larges possibilités d’utilisation : relativement grands. Mesure de distance, mesure multi-crête de plusieurs couches Contrairement aux interféromètres à laser, les interféromètres Micro- et mesure d’épaisseur même de couches minces Epsilon fonctionnent avec une lumière blanche polychrome. La source lumineuse intégrée utilise un spectre de longueurs d’onde ƒ Stabilité maximale du signal pour l’industrie, la construction élargi au lieu d’une longueur d’onde définie. Ainsi, beaucoup plus mécanique ou le laboratoire ainsi que dans le domaine d’informations sont disponibles pour l’évaluation de la superposition des semi-conducteurs et dans le vide à partir des longueurs d’onde reçues. Stabilité maximale du signal pour une précision nanométrique Les interféromètres Micro-Epsilon génèrent des valeurs de mesure précises et stables. Les processus peuvent ainsi être réglés avec précision. Mesure d’épaisseur indépendamment de la distance Les systèmes IMS5400-TH fournissent des valeurs d’épaisseur de couches individuelles jusqu’à 2,1 mm d’épaisseur totale. L’objet à mesurer peut alors se déplacer librement dans la zone de travail. 2 Remplacement du contrôleur facile Les contrôleurs IMS5400 peuvent être facilement remplacés - pas besoin de démontage de capteur ni de réétalonnage Précision inégalée Les systèmes IMS5400-DS & IMS5600-DS sont utilisés pour les mesures de distance absolue. Ils fournissent des valeurs de mesure très précises - avantageuses pour la régulation de la distance et pour les mesures de profil d’objets en mouvement. Aperçu interferoMETER Informations générales Pages Une précision inégalée pour les applications industrielles en série 4-6 Possibilités d’utilisation - un système adapté à chaque application 7 Exemples d’application 8-9 Type de système Utilisation Résolution Pages Distance interferoMETER IMS5400-DS Pour la mesure absolue de la distance avec une résolution nanométrique DS 10 - 11 < 1 nm 14 - 15 Multipeak / épaisseur de couche Distance interferoMETER IMS5600-DS interferoMETER IMS5400-TH interferoMETER IMS5420-TH Pour la mesure absolue de la distance avec une résolution subnanométrique Pour une mesure stable de l’épaisseur avec une résolution nanométrique Pour une mesure stable de l’épaisseur des wafers lors des processus en ligne DS < 30 pm 12 - 15 < 1 nm 16 - 19 < 1 nm 20 - 23 Multipeak / épaisseur de couche Épaisseur TH Multipeak Épaisseur TH Multipeak Possibilités de connexion / accessoires Pages Possibilités de connexion 24 - 25 Accessoires en option 26 - 27 3