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Faseroptische Temperatursensoren : LUXTRON M920 LumaSense Technologies GmbH

Faseroptische Temperatursensoren : LUXTRON M920

Temperatursensor

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Die Luxtron-Vierkanal-Halbleitermodule m924 und m922 von Advanced Energy wurden für die Temperaturüberwachung von Ätz- und Waferfabriken in elektrostatischen Spannfuttern, Kammern und anderen Geräten entwickelt.

Die gesamte OEM-Lösung der Luxtron® m920-Serie basiert auf der Elektronikmodulbaugruppe mit zwei Platinen und Sonden. Die Hauptplatine enthält Glasfaser-Temperaturmesskanäle, einen digitalen Ausgang (RS232 ASCII und RS485 Modbus) und einen Stromanschluss. Die Analogausgangskarte liefert 0 bis 10 V oder 4 bis 20 mA und ist über der Hauptkarte montiert. Ein optionales Metallgehäuse ist ebenfalls erhältlich.

Das System der Serie m920 verwendet die Fluoroptic®-Technologie. Die Hauptplatine der Serie m920 bereitet das Messsignal von Fluoroptic-Sonden auf und meldet eine kalibrierte Temperatur an das OEM-Steuerungssystem.

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