Abgasmanagementsysteme

Edwards bietet eine ganze Palette an kostengünstigen, trockenen Abgasreinigungssystemen an der Verbrauchsstelle für Halbleiterprozesse an. Jedes System verwendet die einzigartige, speziell für die GRC-Produktreihe (Gas-Reaktor-Säule) entwickelte Heißbettreaktortechnologie. 
 
Dieses System kann Gasdurchsätze von bis zu 60 slpm verarbeiten und zerstört schädliche Gase auf Werte unterhalb des TLV-Grenzwerts (Threshold Limit Value).

Die M150 benötigt keine Wasserversorgung. Probleme mit Leitungskorrosion +en, die bei Rückströmen von Feuchtigkeit auftreten, werden somit vermieden.

Reaktive Prozessnebenprodukte werden chemisch in harmlose anorganische Salze umgewandelt, die für eine sichere Entsorgung in der Kartusche aufgefangen werden.