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Turbopumpe : STP-XA2703C VG250 EDWARDS SAS

Turbopumpe : STP-XA2703C VG250

Vakuumpumpe

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Die Turbopumpe vom Typ STP-XA2703C bietet eine hervorragende Leistung im Bereich des Prozessflusses von Hochvakuum bis 2300 sccm sowie eine verbesserte Durchsatzrate für alle Gase. 

Die Pumpe basiert auf einer neuen Plattformbauweise, die Funktionen zur Verbesserung des Wärmemanagements bereitstellt. Dies verbessert die Leistung bei hoher Beanspruchung, erhöht die Maximalkapazität der Prozessabläufe und reduziert Auswirkungen von Korrosion und Ablagerung. 

Die herausragende Leistung ist sowohl für leichte als auch für harte Anforderungen geeignet, wie z. B. Halbleiterätzen, Ionenimplantation, Lithografie und Flüssigkristallanwendungen.

Nenndrehzahl : 27.500 U/min Anlaufzeit : 8 min Einbaulage : Beliebig Kühlwasserdurchsatz : 3 l min-1 Kühlwassertemperatur : 5 bis 25 °C (41 bis 77 °F) Druck : 0,3 MPa Empfohlener Spülgasdurchsatz : 50 sccm (8,4 x 10-2 Pam3s-1) Eingangsspannung : 200 bis 240 (± 10) V AC Leistungsaufnahme : 1,5 kVA Pumpengewicht : 75 kg (165 lb)

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