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Temperaturmanagementsystem (TMS)
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Heizung

Temperaturmanagementsystem (TMS)

Das Temperaturmanagementsystem (TMS) sorgt für die Beheizung der Leitungen und die Isolierung, durch die gewährleistet wird, dass kondensierbare Nebenprodukte von Halbleiterprozessen so lange im gasförmigen Zustand verbleiben, bis sie das Entsorgungsgerät oder die Abgasfalle erreichen.

Mithilfe des TMS können Verstopfungen der Leitungen und damit zusammenhängende außerplanmäßige Ausfallzeiten verhindert werden.
 
Das TMS beinhaltet speziell entwickelte, aus Silikonkautschuk geformte Heizelemente und Isoliermäntel aus Silikonschaum.

Es wurde so konzipiert, dass es sowohl für Abgasleitungen als auch für Vorlaufleitungen jeglicher Konfiguration verwendet werden kann.
 

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