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LumaSense Technologies GmbH

Glasfaserthermometer : Sekidenko OR400T LumaSense Technologies GmbH

Glasfaserthermometer : Sekidenko OR400T

Pyrometer

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Das OR400T-Glasfaserthermometer (Optical Fiber Thermometer, OFT) von Advanced Energy® erweitert die Flexibilität der Glasfaserthermometer-Serie, um eine kostengünstige Lösung zur kontaktlosen Temperaturmessung für volumenstarke Halbleiteranwendungen, wie PECVD, LPCVD, PVD und Metallätzung.

Aufgrund der kompakten Bauweise lässt sich das OR400T leicht integrieren und kann so die speziellen Anforderungen vieler Anwendungen erfüllen.

Vorteile     

Genauere Temperaturmessung
Erhöhte Wafer-zu-Wafer-Homogenität
Eine kostengünstige Alternative zur Thermoelementmessung
Erhöhte Produktivität, Ausbeute und erhöhter Durchsatz

Leistungsmerkmale

Kompakte Einkanal-Bauweise
Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung
Unterstützung von RS-232- und analogen Datenschnittstellen bei bis zu 20 Temperaturmesswerten pro Sekunde
Verbesserte Leistung im Niedrig-Temperaturbereich

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