Elastomer-Werkstoff : Voraz™

Die Perfluoroelastomer-Lösungen Voraz™ von Greene, Tweed verbessern die Effizienz von Prozesskammern, maximieren die Gerätenutzung und erhöhen die Produktionszeit für Flachbildschirm- und Solarhersteller. Voraz bietet einen guten Plasmawiderstand bei der chemischen Gasphasenabscheidung und bei Plasmaätzverfahren. Die geringe Haftreibung vereinfacht die Installation und ermöglicht eine schnellere Wartung. Dadurch werden die Stillstandszeiten der Anlagen gesenkt.

Kundespezifische Voraz-Dichtungen eignen sich perfekt für Gen 5+ Slit Valve Doors und Kammerdeckel. Die Verwendung des zum Patent angemeldeten Extensis®-Herstellungsverfahrens von Greene, Tweed ermöglicht auch die Entwicklung von großen, kundenspezifischen Dichtungen.

Wenn es darum geht, Systemgesamtkosten zu reduzieren, sind daher Voraz-Produkte aufgrund ihrer einzigartigen Kombination aus exzellenten Materialeigenschaften und hoher Designflexibilität das Material der Wahl.